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當前位置：首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-300大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

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大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

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產品型號：NM-300

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品牌	PDV/派迪威	應用領域	綜合

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產品描述：

NM-300緊湊型線性納米定位臺，沿X方向可提供100μm或更大行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺。

該納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優化的集成態撓性導向系統可確保好的平行運動。由于采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩定的性能，使其適用于定位控制，例如步進或連續掃描。壓電陶瓷促動器為樹脂絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。其使用壽命被證明可在無問題情況下運行1000億個循環。

閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。

產品參數：

型號	NM-300	NM-300S	公差
運動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標稱行程范圍(@0~+120V)	300μm	300μm	±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)	350μm	350μm	±20%
分辨率	3.0nm	6.0nm	typ.
最小移動步長	10nm	10 nm	typ.
線性誤cha	——	0.2%	typ.
重復定位精度(全行程)	——	0.1%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)	50μrad	50μrad	typ.
承載能力	10N	10N	Max.
諧振頻率(0g)	360Hz	360 Hz	±20%
運動方向剛度	0.25N/μm	0.25N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	10N/8N	10N /8N	±20%
驅動機構	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	50×50×17.5mm	50×50×17.5mm	——
重量	250g	250g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質	鋼、鋁	鋼、鋁	——

注：所有規格參數基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環，內置位置傳感器。開環尾綴不帶“S，無線性誤差、重復度數據。

2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0.+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統無摩擦，所以系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數表中為16-Bit對應的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數據值，檢測報告中會給出實際的測量數據值。

產品尺寸：

大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

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