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小體積、緊湊型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產(chǎn)品型號：NM-030

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品牌	PDV/派迪威	應用領(lǐng)域	綜合

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產(chǎn)品描述：

NM-030緊湊型線性納米定位臺采用平行運動學機械設(shè)計結(jié)構(gòu)，其位移沿Z方向可提供30μm行程的運動。其緊湊的設(shè)計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。

Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺。

NM-030位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合使用，以提供所有自由度的定位。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。

NM-030非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管）的納米級精確定位，特別是在需要長期穩(wěn)定性的應用中。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	NM-030	NM-030S	公差
運動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標稱行程范圍(@0~+120V)	30μm	30μm	±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)	38μm	38μm	±20%
分辨率	0.3nm	0.6nm	typ.
最小移動步長	1.0nm	1.0 nm	typ.
線性誤cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重復定位精度(全行程)	——	0.05%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	5μrad	5μrad	typ.
承載能力	8N	8N	Max.
諧振頻率(0g)	350Hz	350 Hz	±20%
運動方向剛度	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驅(qū)動機構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	27×27×20mm	27×27×20mm	——
重量	40g	40g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋼、鋁	鋼、鋁	——