在科研和工業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景中，氣浮平臺(tái)已經(jīng)被廣泛使用。氣浮平臺(tái)的核心工作原理是基于氣體動(dòng)靜壓效應(yīng)，利用氣浮軸承和電控元件構(gòu)成了精密的位移平臺(tái)，讓承載面浮在氣浮導(dǎo)軌或軸承上，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦，無(wú)抖動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。

氣浮平臺(tái)的結(jié)構(gòu)由氣浮導(dǎo)軌（含承載面），直線電機(jī)和光柵尺等主要部件組成。通過(guò)氣管將干凈，無(wú)水無(wú)油的壓縮空氣輸入到承載面與氣浮導(dǎo)軌之間的氣模間隙，氣體在氣模間隙內(nèi)流動(dòng)，讓承載面在氣浮導(dǎo)軌上浮起來(lái)。氣體起到了潤(rùn)滑劑的作用，實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦運(yùn)動(dòng)。

常見(jiàn)的氣浮直線導(dǎo)軌有如下形式：

1) 重力平衡式氣浮導(dǎo)軌

2) 閉式氣浮導(dǎo)軌

3) 永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌

d) 真空吸附式氣浮導(dǎo)軌

常見(jiàn)的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：

1)小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)

2) 多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)

傳統(tǒng)的以旋轉(zhuǎn)和滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)的定位精密平臺(tái)存在著傳動(dòng)環(huán)節(jié)多、響應(yīng)滯后大、存在摩擦、精度差等缺點(diǎn)，而氣浮軸承與電磁直驅(qū)結(jié)合的氣浮定位平臺(tái)則克服了以上的缺點(diǎn)。氣浮平臺(tái)在半導(dǎo)體、光刻設(shè)備、航空航天、3D加工、精密車(chē)輛和生物醫(yī)學(xué)等眾多領(lǐng)域中具有十分廣泛的被應(yīng)用。